U53系列(lie)減壓器(qì)适用于(yu)高純氣(qi)體應用(yòng),采用内(nèi)部無螺(luó)紋、非焊(hàn)接✏️膜片(piàn)結構。膜(mó)片和閥(fa)體的密(mì)封采用(yong)
了硬密(mi)封的設(shè)
計,降低(dī)洩漏率(lǜ),同時提(tí)高了安(an)全性和(he)使用壽(shòu)命。
結構(gòu)特點
316L不(bú)鏽鋼母(mǔ)體
膜片(pian)式硬密(mi)封,洩漏(lòu)率低
可(kě)采用面(miàn)闆安裝(zhuāng)和後座(zuò)安裝
壓(yā)力表标(biāo)準連接(jie):1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
内(nei)部電解(jiě)抛光
專(zhuan)爲高純(chún)淨應用(yong)生産制(zhi)造
高潔(jié)淨的組(zǔ)裝和包(bāo)裝适用(yong)于高潔(jie)淨度的(de)半導體(tǐ)♌行㊙️業📱
使(shǐ)用壽命(ming)長
100%氦氣(qì)測試
材(cai)質
母體(tǐ):316L, Hastelloy®
閥座:PCTFE
膜(mo)片:Elgiloy®, Hastelloy
上蓋(gai):316, Hastelloy
®
功能特(tè)性
流量(liàng):Cv=0.054
母體洩(xie)漏率:2×10
-8 atm cc/sec He
閥(fá)座洩漏(lòu)率:4×10
-8 atm cc/sec He
設計(ji)驗證壓(ya)力:最大(dà)額定壓(yā)力的150%
設(shè)計爆破(pò)壓力:最(zuì)大額定(ding)壓力的(de)400%
工作條(tiao)件
最大(dà)的入口(kǒu)壓力:300 psi (20 bar)
出(chu)口壓力(lì):0~30 psi (2 bar)
溫度:-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流(liú)道表面(mian)
标準:Ra 20 µin
内(nei)部容積(jī)
9.3 cc