捷銳U53系(xì)列高純減壓(yā)器
作者:admin 發布(bù)時間:2025-12-15 13:39:25 浏覽次(cì)數 :772
U53系列減壓(yā)器适用于高(gāo)純氣體應用(yong),采用内部無(wu)螺紋、非焊🐅接(jiē)膜片結構。膜(mo)片和閥體的(de)密封采用
了(le)硬密封的設(shè)
計,降低洩漏(lou)率,同時提高(gāo)了安全性和(hé)使用壽命。
結(jié)構特點
316L不鏽(xiù)鋼母體
膜片(pian)式硬密封,洩(xie)漏率低
可采(cǎi)用面闆安裝(zhuāng)和後座安裝(zhuang)
壓力表标準(zhun)連接:1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
内(nei)部電解抛光(guāng)
專爲高純淨(jing)應用生産制(zhi)造
高潔淨的(de)組裝和包裝(zhuang)适用于高潔(jié)淨度的半導(dǎo)體行業
使用(yòng)壽命長
100%氦氣(qi)測試
材質
母(mu)體:316L, Hastelloy®
閥座:PCTFE
膜片(pian):Elgiloy®, Hastelloy
上蓋:316, Hastelloy
®
功能特(tè)性
流量:Cv=0.054
母體(tǐ)洩漏率:2×10
-8 atm cc/sec He
閥座(zuò)洩漏率:4×10
-8 atm cc/sec He
設計(jì)驗證壓力:最(zui)大額定壓力(li)的150%
設計爆破(pò)壓力:最大額(e)定壓力的400%
工(gōng)作條件
最大(dà)的入口壓力(lì):300 psi (20 bar)
出口壓力:0~30 psi (2 bar)
溫(wen)度:-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道表面(miàn)
标準:Ra 20 µin
内部容(róng)積
9.3 cc
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